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本文標(biāo)題："掃描電鏡的顯微圖象或者是光截面的圖形測(cè)量顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-7-12 21:22:46 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
掃描電鏡的顯微圖象或者是光截面的圖形測(cè)量顯微鏡
——為修正超差的零件，在制造工藝方面會(huì)引起多大的變革？
本文中得出的論點(diǎn)將協(xié)助工程師在回答這些問(wèn)題的前三點(diǎn)時(shí)，
提供一個(gè)正確的選擇，后兩個(gè)問(wèn)題也同樣重要和有意義，但是這
里交示討論，因?yàn)閮H回答這些問(wèn)題就要深深涉及某個(gè)特有的零件
和工藝過(guò)程的細(xì)節(jié)。
1、一臺(tái)測(cè)量?jī)x器或轉(zhuǎn)換器可以把表面形貌變換為某種形式的
、供數(shù)據(jù)處理用的圖象，當(dāng)轉(zhuǎn)換器的靈敏元件掃過(guò)校驗(yàn)樣板表面
的柵格紋路時(shí)，所獲得的現(xiàn)今最通常的圖象形式是一個(gè)電壓信號(hào)
，然而，圖象形式同樣也可能是一個(gè)干涉圖形，一個(gè)掃描電鏡的
顯微圖象或者是光截面的圖形。
2、分析裝置用于處理表面的圖象，以便能表示形貌的特征或
用簡(jiǎn)便的方法展示形貌。
3、數(shù)據(jù)顯示可包括從簡(jiǎn)單的模擬指示計(jì)延伸到復(fù)雜的計(jì)算機(jī)
繪圖終端——能顯示表面形貌的等距三維影像圖或其特性曲線。
觸針式儀器在實(shí)際應(yīng)用中有相反的特點(diǎn)：它必須和表面接觸、
校驗(yàn)困難，但是數(shù)據(jù)分析容易并且直截了當(dāng)。
為了推進(jìn)精車加工過(guò)程的自適應(yīng)控制，必須在與加工過(guò)程有關(guān)
的數(shù)據(jù)測(cè)取方面取得重要的進(jìn)展，因此，必須解決與合適的傳感
器的設(shè)計(jì)和改進(jìn)有關(guān)的許多問(wèn)題，本文探討了用光學(xué)纖維傳感器
在精車加工過(guò)程中測(cè)量表面粗糙度的可能性，并簡(jiǎn)要地描述了傳
感器的工作原理。
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