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本文標(biāo)題："光源如果是用特別穩(wěn)定的激光精度可達(dá)到0.5微米"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-7-16 20:04:37 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
光源如果是用特別穩(wěn)定的激光精度可達(dá)到0.5微米
激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀
光源如果是用干涉特性特別穩(wěn)定的激光，就可以得到大的光程
差，能得到明顯的于波條紋，激光的波長(zhǎng)為0.6328μm。
用激光干涉方法是可以高靈敏度來(lái)測(cè)長(zhǎng)，這是有利之處，然而
由于測(cè)長(zhǎng)范圍大所以對(duì)溫度變化、氣壓變化比較敏感，這是要注
意的，測(cè)量1米的物體時(shí)精度在幾微米，如對(duì)外部的影響特別注
意時(shí)，其精度可達(dá)到0.5微米以下，激光干涉儀的主要用途在對(duì)
磁標(biāo)尺的刻度間隔或精度傳動(dòng)絲杠的螺距進(jìn)行測(cè)量，還可以用在
對(duì)機(jī)床的工作臺(tái)、測(cè)量?jī)x的移動(dòng)臺(tái)等移動(dòng)量的檢測(cè)。
干涉測(cè)微計(jì)
采用邁克爾遜干涉原理的-黑田干涉測(cè)微計(jì)的結(jié)構(gòu)原
理，由鏡和測(cè)頭上面的鏡，反射來(lái)的光相互干涉，利用目鏡來(lái)觀
察干涉條紋，首先測(cè)量量塊，主要是用于要求高精度的尺寸，分
度值為0.1μm，指示范圍為+6μm。
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