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本文標(biāo)題："應(yīng)用于檢查微細(xì)的缺陷的多功能工具圖像顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-7-22 14:25:37 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
應(yīng)用于檢查微細(xì)的缺陷的多功能工具圖像顯微鏡
利用特征提取的檢查
進(jìn)行缺陷檢查時(shí)，不僅檢查微細(xì)的缺陷，而且有時(shí)還要檢測(cè)川
不正常的形狀。通常為識(shí)別出圖形的形狀，要事先記憶住標(biāo)準(zhǔn)的圍
形，再通過(guò)與輸入合形相比較來(lái)檢測(cè)出不良的形狀．這時(shí)，為了一
次記憶住輸入圖形需要容量比較大的存貯器，這是一個(gè)缺點(diǎn)．與之
相反，對(duì)于只求得輸入圖案的面積和輪廓長(zhǎng)度就能檢查不良形狀的
情況，只用很少的存貯器即能運(yùn)算，因而可以做成廉價(jià)的裝置．利
用而積和輪廓長(zhǎng)等特征識(shí)別形狀的方法已被應(yīng)用于白血球的自動(dòng)分
類(lèi)系統(tǒng)
現(xiàn)在來(lái)說(shuō)明一下利用面積和輪廓長(zhǎng)自動(dòng)檢查二極管芯片形狀的
例子．二極管芯片的形狀表示在圖4．32中．它是在直徑為1．4mm
：厚度為0．3mm的硅圓片兩面上蒸鍍鋁膜的基片．所謂二極管是在
該基片的兩麗焊上鋁絲，做成共晶合金并使之具有整流作用的：卜
尋體元件，是應(yīng)川于幾乎所有電氣產(chǎn)品中的重要器件．其缺陷如該
圖所示，有鋁膜脫落，芯片本身的破損或變形等幾種
極管芯片和缺陷舉例變形
缺陷的檢測(cè)原理表示由于鍍鋁層是微細(xì)顆粒的集合，因此從45
。的方向以平行光照射二極管芯片表面時(shí)，由于在鋁膜部位產(chǎn)生漫
反射，漫反射光的一部分入射到物鏡中，形成明亮的像．另一方面
，由于沒(méi)有鋁膜的部分露出了硅片的平滑表面，因此，照明光沿45
°方向反射，而不入射到物鏡，于是形成暗像．這樣，若只檢測(cè)出
明亮的像，則可以檢測(cè)出鍍有完整鋁層的
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