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當(dāng)要求特別高的精度時,其中包括對于長度的測量,形狀的規(guī)
格性的檢核和表面的粗糙度的檢核及對于反射鏡小傾斜度的測量,
凡此種種測量工作中,均應(yīng)用著干涉型的儀器(干涉儀)。在干涉
儀中,可采用兩條或多條相干光束的干涉。有兩種應(yīng)用干涉方法的
可能,第一是根據(jù)干涉條帶的位移,測量直線的位移。很容易以
0.1的條帶寬度的精度來測量這個位移,也就是說測量平面位移的
誤差達(dá)0.03微米。干涉的第二種應(yīng)用是借助于標(biāo)準(zhǔn)表面來檢核其它
表面的平面度。
在測量實際中,基于測量條帶位移原理的干涉儀,得到最廣泛
的推廣。比如,根據(jù)條帶位移測定用來測定水準(zhǔn)器靈敏度的檢驗儀
的反射鏡傾角。該方法的實質(zhì)就是以光波長度根據(jù)測量直角三角形
小直角邊來測定小的傾角。
垂高計的工作原理是利用望遠(yuǎn)鏡依次照準(zhǔn)被測量構(gòu)件的起、末
兩端,將被測構(gòu)件的尺寸和垂高計的作業(yè)尺進(jìn)行比較。:任何垂高計
的原理圖都是由下列基本構(gòu)件組成:沿導(dǎo)軌移動的照準(zhǔn)設(shè)備(通常
這種設(shè)備是望遠(yuǎn)鏡),望遠(yuǎn)鏡整平設(shè)備(借助于水準(zhǔn)器或液體水平
及自準(zhǔn)直儀)、作業(yè)尺(分劃尺)和讀數(shù)設(shè)備(顯微鏡、錐形體和
放大鏡)。
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