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本文標(biāo)題："檢驗(yàn)復(fù)雜零件的尺寸,形狀及加工質(zhì)量測量顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-9-17 12:14:04 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
檢驗(yàn)復(fù)雜零件的尺寸,形狀及加工質(zhì)量測量顯微鏡
多次曝光法就是在超越被研究對(duì)象振蕩周期的時(shí)間內(nèi)連
續(xù)記錄全息圖．必須將合成的全息圖看作是大量瞬時(shí)全息圖
的重疊．
全息干涉法有兩個(gè)肯定的優(yōu)點(diǎn)須予指出：首先，被研究
對(duì)象的形狀可以是不正確的，甚至是漫反射形的．通過被研
究對(duì)象的波或其反射波的復(fù)雜形狀對(duì)干涉圖樣的質(zhì)量并無影
響，因?yàn)榛鶞?zhǔn)波與工作波被此對(duì)象造成畸變實(shí)際上是同樣
的，而干涉圖樣的形式則完全決定于隨物體發(fā)生的那些變
化．
其次，對(duì)全息干涉儀光學(xué)系統(tǒng)的質(zhì)量要求不如一般那樣
的高，因?yàn)樵谠摳缮鎯x中，兩個(gè)波因光學(xué)零件不完善而產(chǎn)生
的變形是相同的．這一情況對(duì)任何干涉儀都是重要的，而在
研究大型物體時(shí)則尤其重要．
全息干涉儀的幾個(gè)主要應(yīng)用方面是：
(1)研究不正確形狀的、漫射光的物體的變形，
(2)研究物體的振動(dòng)，
(3)檢驗(yàn)復(fù)雜零件的尺寸，形狀及加工質(zhì)量
(4)檢驗(yàn)大型光學(xué)零件，
(5)研究透明物體中的應(yīng)力分布，
(6)研究脈沖與固定相位不均勻性，氣流、爆炸、沖
擊波、等離子體及其它等等．
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