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為了消除振動的影響,干涉儀基本元件的連接剛性必須
相當(dāng)高,以保證元件的間距變化不超過0.03μm.按壓殼體
時,允許干涉條紋出現(xiàn)顯著偏移,但減壓后干涉條紋必須返
同原始位置,誤差不超過0.05個干涉條紋.為減小干涉儀對
振動的敏感性,得將儀器裝上減振器.
熱作用可引起儀器各部分的不均勻受熱,致使干涉條紋
偏移.為此,、最好將干涉儀的各部件相互配置得愈近愈好,
并以一共用的絕熱罩絕熱。光源應(yīng)離開儀器相當(dāng)遠(yuǎn),其功率
必須是最低限度的.必須在接通照明器并使干涉儀溫度穩(wěn)定
達(dá)1—1.5小時后才可開始精密測量.
在對干涉儀進(jìn)行調(diào)整和用來工作時,儀器的主要元件必
須移動方便、可靠和足夠準(zhǔn)確.后一項要求與剛性要求有所
矛盾,因此,在設(shè)計時必須探索滿足共同要求的最佳結(jié)構(gòu)方
案.
制造廠對儀器進(jìn)行基本調(diào)整,以保證在運輸中原調(diào)整情
況保持不變?yōu)槎龋@樣,就可以使問題局部解決.在使用過
程中則僅調(diào)整規(guī)定間隔與傾角的干涉條紋,并且,僅在個別
情況下才改變干涉條紋的定位.
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