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本文標(biāo)題："材料的電學(xué)鑒定冶金加工器件體積測(cè)定顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-11-11 16:37:41 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
材料的電學(xué)鑒定冶金加工器件體積測(cè)定顯微鏡
冶 金 學(xué)
在低溫下形成勢(shì)壘接觸的冶金學(xué)是比較簡(jiǎn)單的，因?yàn)榻饘倥c
半導(dǎo)體不發(fā)生反應(yīng)。但是，當(dāng)在高溫下要形成歐姆接觸或穩(wěn)定的
勢(shì)壘結(jié)構(gòu)而進(jìn)行燒結(jié)時(shí)，就會(huì)發(fā)生強(qiáng)烈的反應(yīng)。低阻歐姆接觸的
要求是：
①接觸金屬應(yīng)當(dāng)與半導(dǎo)體均勻地浸潤(rùn)并起反應(yīng)。
②應(yīng)當(dāng)形成一個(gè)均勻的高摻雜區(qū)，用它產(chǎn)生具有歐姆行為的
低接觸電阻。
④這個(gè)接觸體系應(yīng)當(dāng)與所用的其它金屬相熔合，并能在以后
的整個(gè)加工程序中保持牢固不壞。
通常使用的接觸金屬所包含的摻雜劑，n型的有錫，銦或鍺；
P型的有鋅或錳，并與金，銀或鎳組成合金。后者提供一個(gè)適于
焊接引線的表面，并且在合金過(guò)程中使低熔點(diǎn)的摻雜劑直接與半
導(dǎo)體接觸。
材料的電學(xué)鑒定是一個(gè)復(fù)雜而廣泛的研究課題。它包括體材
料的分析，監(jiān)控薄的外延層(與器件層同時(shí)生長(zhǎng)的)，在整個(gè)片
子表面上平均值的測(cè)量，特定器件中的體積測(cè)定，對(duì)完整器件的
測(cè)量以及為了確定材料的某種特性而進(jìn)行的試驗(yàn)等等。
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