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用20~40倍立體
顯微鏡觀察貼片質(zhì)量檢查儀器
貼片質(zhì)量檢查
貼片固化完成時,僅完成整個傳感器制造工作量的一半
左右,接下去還有大量測試、補(bǔ)償工作。若貼片質(zhì)量不良而
又不能及時發(fā)現(xiàn),到最后暴露時就將會浪費(fèi)火量人力、物力
和時間,因此應(yīng)在貼片固化后嚴(yán)格檢查貼片質(zhì)量,發(fā)現(xiàn)問題
及時重貼。檢驗(yàn)方法如下:
(1)外觀檢查 用20~40倍立體顯微鏡觀察貼片位置
是否正確、有無氣泡、膠層是否均勻、應(yīng)變片有否損傷等。
(2)絕緣檢查 測量每片應(yīng)變片與彈性元件之間的絕
緣電阻,測試電壓為50伏或100伏,室溫下的絕緣電阻應(yīng)大
于104兆歐。
(3)阻值檢查測量每片應(yīng)變片的電阻值,并與粘貼
前的記錄作比較,變化量一般在0.2%以內(nèi);超過0.3%時,
應(yīng)考慮重貼。
(4)綜合性能檢查 將應(yīng)變片粗略地接成橋路,先進(jìn)
行120qo過負(fù)荷試驗(yàn)5次,記下每次的回零情況。后3次的回
零應(yīng)良好,再測試線性、滯后、重復(fù)性、蠕變等幾項(xiàng)指標(biāo),
發(fā)現(xiàn)反常時應(yīng)重貼。此項(xiàng)檢查雖然麻煩,卻極為有效和必
要。
防潮處理
任何一種應(yīng)變片及應(yīng)變膠都會吸收空氣中的潮氣,其后
果是絕緣電阻、粘接強(qiáng)度和剛度下降,膠層膨脹,引起零點(diǎn)
漂移及某些指標(biāo)下降。所以必須采取防潮措施,其方法
為:
(1)在應(yīng)變片上涂防潮劑
對防潮劑的要求是:
1)極優(yōu)的防潮性能:
2)良好的粘接性;
3)良好的絕緣性;
4)柔軟,對應(yīng)變片造成的應(yīng)力及對彈性元件剛度的影
響均可忽略不計(jì);
5)允許使用的溫度范圍大于傳感器的工作溫度范圍;
6)性能穩(wěn)定,使用期內(nèi)無變質(zhì)、老化問題。對應(yīng)變片
敏感柵、引線及彈性元件無腐蝕;
7)使用簡便。
常用的防潮劑為環(huán)氧樹脂類或橡膠類。環(huán)氧樹脂類剛性
較好,對傳感器的滯后及蠕變略有影響,使用中也易產(chǎn)生氣
泡。橡膠類性能較好。但任何防潮劑本身也多
少有一點(diǎn)吸潮性,因此并不能徹底解決防潮問題。
防潮劑的覆蓋面要足夠大,引出線等部位要完全涂覆,
不留縫隙,厚度要適當(dāng)、均勻。
(2)外殼密封法
將傳感器的外殼整體密封,抽真空后充入干燥的惰往氣
體,這是最為可靠的防潮方法。密封面可以用膠封,也可用
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