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本文標(biāo)題："薄膜結(jié)構(gòu)的淀積、加工電子工業(yè)中的應(yīng)用技術(shù)"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-3-20 14:14:42 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
薄膜結(jié)構(gòu)的淀積、加工電子工業(yè)中的應(yīng)用技術(shù)
薄膜技術(shù)在電子工業(yè)中的應(yīng)用是基于我們對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)的淀
積、加工和利用時(shí)發(fā)生的物理過(guò)程的了解．
現(xiàn)代薄膜技術(shù)的關(guān)鍵方面是外延層的生長(zhǎng)以及在薄膜結(jié)構(gòu)
熱加工過(guò)程中發(fā)生的互擴(kuò)散和反應(yīng)．在稍后的章節(jié)里，我們將
建立理解這些薄膜現(xiàn)象的嚴(yán)格的科學(xué)依據(jù)．首先，我們給出作
為薄膜加工基礎(chǔ)的材料科學(xué)基本概念的慨述．
表面能，固體中的擴(kuò)散以及應(yīng)力．例如，由表面能確定淀
積在襯底上的薄膜是形成均勻的粘附層還是形成原子團(tuán)．薄膜
技術(shù)要求均勻的、平整的、可控厚度的薄膜；
表面能是薄膜科學(xué)領(lǐng)域中的一個(gè)基本概念．一般來(lái)說(shuō)．表
面能就是指建立新表面需要消耗的額外能量．我們知道金屬是
高表面能材料，而氧化物是低表面能材料．表面能的相對(duì)大小
決定一種材料是否和另一種材料相濕潤(rùn)并形成均勻的粘附層．
具有非常低表面能的材料容易和具有較高表面能的材料相濕潤(rùn)
．反之，如果淀積材料具有較高表面能，則它容易在具有較低
表面能襯底上形成原子團(tuán)(俗稱“起球”)．
表面能的定義是建立一個(gè)新的表面所需要的能量；因?yàn)檫@
個(gè)能量是附加的，因此取正值．事實(shí)上，液滴呈球狀以減小它
的表面能，晶體表面往往由許多小平面組成，也是為了獲得最
低表面能的表面．當(dāng)我們打碎一塊物體，就產(chǎn)生兩個(gè)新的表面
。原先結(jié)合的鍵被打破．顯然表面能是與鍵能和產(chǎn)生新表面時(shí)
打破鍵的數(shù)目有關(guān)．這又和材料的結(jié)合能有關(guān)．
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