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本文標(biāo)題："微型化、集成化、智能化并與新技術(shù)便攜顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-5-12 1:27:30 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
微型化、集成化、智能化并與新技術(shù)便攜顯微鏡
傳感器指能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成便于測
量的輸出信號的器件或裝置，一般由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。微
傳感器(Micro—sensor)是微機(jī)械的重頭產(chǎn)品，在已開發(fā)的微機(jī)械
產(chǎn)品中，微傳感器占到90％。微傳感器的體積小、功耗低、響應(yīng)快，
便于和信號處理部分集成以構(gòu)成微傳感器測試系統(tǒng)，這些特性使
其可以應(yīng)用于汽車、航空航天、電機(jī)、醫(yī)學(xué)、家用電器、生物化學(xué)、環(huán)
境監(jiān)測等廣闊領(lǐng)域。
微傳感器的出現(xiàn)和廣泛應(yīng)用是微電子制造技術(shù)向半導(dǎo)體技術(shù)
擴(kuò)展的結(jié)果。這些技術(shù)包括光刻、薄膜鍍層、化學(xué)和離子加工等。它
們使得傳感器結(jié)構(gòu)得以微型化，從而能在同一表面上制作大量的
傳感器，然后批量生產(chǎn)。
第一個微傳感器是在硅上鍍膜再經(jīng)化學(xué)加工并與電子線路集
成的壓力微傳感器。目前這項技術(shù)已有五六十年的發(fā)展歷史，許多
集成線路制造商對其進(jìn)行了工業(yè)開發(fā)，并把相關(guān)產(chǎn)品用到汽車上。
另外一些工業(yè)化生產(chǎn)的微傳感器產(chǎn)品，包括在硅或石英上制作的
霍爾效應(yīng)(Hall Effect)探頭、加速度計、力傳感器以及化學(xué)傳感器
等等。
傳感器的發(fā)展趨勢是微型化、集成化、智能化并與新技術(shù)、新
材料的發(fā)展不斷融合�；诠璧奈鞲衅髋c電子線路集成是一個
重要的發(fā)展目標(biāo)，這不僅可以使整體尺寸更小，而且能夠大幅度降
低生產(chǎn)成本。目前在一些專業(yè)領(lǐng)域，光學(xué)與機(jī)械的功能結(jié)構(gòu)逐漸趨
于集成，例如色譜分析儀等正在把光學(xué)微結(jié)構(gòu)與檢測器件集于一
體；生物醫(yī)學(xué)上也需要生物微傳感器與機(jī)械執(zhí)行器(如微閥、微泵
等)的集成來檢測輸入量與血流量。
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