---
---
---(點(diǎn)擊查看產(chǎn)品報(bào)價(jià))
本文標(biāo)題："全反射和穿透力的高能X射線用于測(cè)量涂層厚度"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-5-19 19:27:09 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
全反射和穿透力的高能X射線用于測(cè)量涂層厚度
切線入射X射線反射計(jì)
1923年康普頓首次提出x射線從固體樣品平的光滑表面全反射，這是X射線
鏡面反射試驗(yàn)技術(shù)誕生的標(biāo)志。因?yàn)槿肷浣欠浅Ｐ�，幾乎和表面平行，利用X射
線完全反射進(jìn)行的測(cè)量也稱為切線入射試驗(yàn)。如果表面不是理想的平滑，有點(diǎn)兒粗
糙，x射線會(huì)向各個(gè)方向漫反射。這個(gè)試驗(yàn)技術(shù)稱為X射線漫反射(X射線非平面
反射)。在1963年，YONEDA首先提出之后，此技術(shù)立即開始發(fā)展。YONEDA報(bào)
道了X射線漫反射的強(qiáng)度調(diào)制。被稱為YONEDA翅膀式不規(guī)則反射。
目前，基于全反射的X射線反射計(jì)，成為表面和薄膜分界面分析的一個(gè)強(qiáng)
有力的工具，并將進(jìn)一步發(fā)展。這主要是由于試驗(yàn)技術(shù)和手段的重要發(fā)展，尤其
是同步加速器輻射線的出現(xiàn)和探測(cè)技術(shù)的發(fā)展。在理論模型和試驗(yàn)數(shù)據(jù)分析技術(shù)
上的進(jìn)展也是很重要的。
具有全反射和穿透力的高能X射線用于測(cè)量涂層厚度。通常X射線的折射
率指數(shù)小于1，如果入射角比較小，x射線穿透只能達(dá)到一個(gè)小的角度，即臨界
角。如果入射角進(jìn)一步減小，在分界面發(fā)生表面全反射，稱為光束鏡面反射。在
涂層一襯底系統(tǒng)中，一部分輻射被反射，而另一部分穿透薄膜。在空氣一涂層和涂
層一襯底分界面處有兩個(gè)全反射角。兩部分干涉光線形成干涉。表面粗糙度和光
學(xué)涂層及感光襯底層材料的密度，影響干涉成像的結(jié)果。如果感光襯底層材料的
折射率小于涂層材料的折射率，可獲得最清晰和高密度的圖像。
x射線反射技術(shù)的主要限制是，波矢?jìng)鬟f范圍是有限的，反射振幅相位會(huì)有
損失。不過(guò)在研究雙層樣品厚度和粗糙度時(shí)，其精確度大概是0．2nm。
所有資料用于交流學(xué)習(xí)之用，如有版權(quán)問(wèn)題請(qǐng)聯(lián)系，禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載注明地址
上海光學(xué)儀器一廠-專業(yè)顯微鏡制造商 提供最合理的顯微鏡價(jià)格
合作站點(diǎn)：http://www.sgaaa.com/顯微鏡百科