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本文標(biāo)題："表面檢測的懸臂工件檢測工業(yè)顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-5-21 0:16:28 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
振動(dòng)掃描方式
振動(dòng)掃描(VS)方式應(yīng)用探針系統(tǒng)獲得表面形狀，在探針和
物體之間應(yīng)用電子接觸原理。眾所周知電子接觸式檢測再現(xiàn)性精度
不高，因此這種類型的檢測不能用于尺寸測量。在幾個(gè)例子的應(yīng)用
中發(fā)現(xiàn)，工件只能安裝在中等精度的機(jī)床中。
振動(dòng)掃描方式和傳統(tǒng)的電子接觸方式之間的不同是，振動(dòng)掃描方式的應(yīng)用來
源于接觸探針振動(dòng)的間斷接觸。
振動(dòng)掃描方式的基本原理。用于表面檢測的懸臂在較低頻
率下振動(dòng)，目的是避免機(jī)械共振。振幅被調(diào)節(jié)到大約2μm。當(dāng)懸臂
接近表面時(shí)，其頂端與表面間斷地接觸。此接觸產(chǎn)生一系列的矩形
波作為輸出。探針移動(dòng)和輸出信號(hào)間的關(guān)系。脈沖的持續(xù)時(shí)間根據(jù)
振動(dòng)中心與表面間的距離，或探針位置的X坐標(biāo)的變化而變化。如
果探針的位置被控制，以保持不變的輸出工作循環(huán)，例如，50％，
當(dāng)探針在縱向或y方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，振動(dòng)的中心也就沿著物體表面的曲
線移動(dòng)。儲(chǔ)存探針在X，y方向的數(shù)據(jù)就相當(dāng)于儲(chǔ)存物體表面曲線的
數(shù)據(jù)。
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