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電子
顯微鏡裝備是電流通過(guò)纏繞在軟磁材料線圈產(chǎn)生磁場(chǎng)
透鏡的(理想)功能。一束可見(jiàn)光可被玻璃透鏡折射和聚焦,電子束
則可被磁場(chǎng)折射和聚焦。電子顯微鏡裝備的是電磁透鏡[電流通過(guò)纏繞
在軟磁材料(軟鐵)上的(銅)線圈從而產(chǎn)生磁場(chǎng)]。玻璃透鏡對(duì)可見(jiàn)光與
電磁透鏡對(duì)電子束的一個(gè)重要區(qū)別是電磁透鏡的焦平面(位置)隨透鏡線
圈內(nèi)電流的變化而改變,而玻璃透鏡的焦平面位置則是固定的,即電磁
透鏡的作用原理可以認(rèn)為與玻璃凸透鏡相似,但其焦距是可變且可控的
。所以,在光學(xué)顯微鏡中,為了達(dá)到聚焦的效果可移動(dòng)玻璃透鏡系統(tǒng),
但是在TEM中透鏡是固定的,而其焦距是可變的(即其“強(qiáng)度”是可變的
)。
遺憾的是,到目前為止,電磁透鏡的孔徑還無(wú)法與玻璃透鏡相比,
其孔徑角“大約為1°。這個(gè)非常有限的(允許)孔徑角如此之小是因?yàn)?/div>
電磁透鏡存在嚴(yán)重的畸變問(wèn)題(尤其在某些特定的球面上。)。這種限制
和前文提到的波長(zhǎng)減小利于提高分辨力的綜合效應(yīng),使得TEM與光學(xué)顯
微鏡相比其分辨率大約可以提高1000~3000倍,即最小的可觀察間距為
0.1~0.3nm。這也意味著可以分辨觀察到原子(排列弩)。
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