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本文標(biāo)題："高速計(jì)算機(jī)和固體器件為代表的新技術(shù)表面輪廓儀"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-7-3 16:49:13 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
高速計(jì)算機(jī)和固體器件為代表的新技術(shù)表面輪廓儀
表面輪廓儀介紹
以高速計(jì)算機(jī)和固體器件為代表的新技術(shù)得以發(fā)展，同時(shí)針對(duì)
越來(lái)越小的工程表面進(jìn)行精確檢測(cè)的需求也日漸增加，在這些因素
的推動(dòng)下，表面測(cè)量技術(shù)無(wú)論在技術(shù)成熟方面還是應(yīng)用范圍方面都
得到了極大的發(fā)展。先進(jìn)的照明光源，例如激光，以及通常使用的
固體探測(cè)器和光電器件也對(duì)這一技術(shù)的發(fā)展起到了推動(dòng)作用，使之
不但能夠用于描述表面形貌，而且能夠用來(lái)確定諸如位移、散射等
的一些其他特性。一些創(chuàng)新性的技巧和技術(shù)使得測(cè)量對(duì)象的范圍得
到了很大的擴(kuò)展，因此針對(duì)那些高陡度、大臺(tái)階及深窄溝道的難度
很大的面形也可以進(jìn)行測(cè)量了。這些表面輪廓技術(shù)很多是由距離測(cè)
量或焦距測(cè)定技術(shù)發(fā)展而來(lái)的，同時(shí)它們也往往需要進(jìn)行掃描來(lái)獲
得面形輪廓。本章將介紹探針輪廓儀、掃描探針顯微鏡、共焦顯微
鏡及干涉光學(xué)輪廓儀。這些儀器都被廣泛應(yīng)用于表面面形的測(cè)定，
而且既適用于極小的典型工程表面，也適用于非球面和玻璃平板這
樣的光滑大面形檢測(cè)。
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