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本文標(biāo)題："掃描探針顯微鏡測(cè)量速度低橫向分辨率則高"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-7-3 16:49:25 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
掃描探針顯微鏡測(cè)量速度低橫向分辨率則高
掃描探針顯微鏡和探針輪廓儀，然后圍繞著近十五年來(lái)發(fā)展起
來(lái)的、在商業(yè)和工業(yè)上得到應(yīng)用的光學(xué)技術(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。這
部分內(nèi)容包括單色光及白光照明干涉顯微鏡，白光和多波長(zhǎng)技術(shù)也
常常應(yīng)用于其他測(cè)量方法，比如散斑、全息及條紋和結(jié)構(gòu)光投影過(guò)
程。最后還針對(duì)光學(xué)測(cè)距技術(shù)和偏振干涉儀作了簡(jiǎn)短的評(píng)述。接觸
式輪廓儀
探針輪廓儀和掃描探針顯微鏡，通常都稱為接觸式輪廓儀或者
觸摸式傳感器，因?yàn)樗鼈兌际鞘褂靡粋�(gè)探針來(lái)對(duì)測(cè)量對(duì)象的表面進(jìn)
行掃描�，F(xiàn)在，施加在探針尖上的力已經(jīng)非常小了，以至于很難再
將其稱為接觸式儀器。這類儀器的測(cè)量速度很低，橫向分辨率則相
當(dāng)高，不過(guò)一般來(lái)說(shuō)低于光學(xué)顯微鏡。作為最早得到發(fā)展的探針輪
廓儀，其制造成本不高，也便于使用，因此在許多機(jī)械和光學(xué)車間
中作為標(biāo)準(zhǔn)配備。掃描探針顯微鏡的發(fā)展要相對(duì)晚一些，但是由于
其具有亞納米量級(jí)的縱向和橫向分辨率，現(xiàn)在該設(shè)備在實(shí)驗(yàn)室和半
導(dǎo)體及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工業(yè)中已經(jīng)被普遍使用。測(cè)量大口徑元件
的剖面可以使用較大探針坐標(biāo)測(cè)量?jī)x，該儀器能夠在掃描模式下工
作。
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