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本文標(biāo)題："表面檢測(cè)中準(zhǔn)確度和精度計(jì)量粗糙度輪廓儀"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-7-3 21:17:54 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
表面檢測(cè)中準(zhǔn)確度和精度計(jì)量粗糙度輪廓儀
確定系統(tǒng)性能的術(shù)語(yǔ)和問(wèn)題
所有的輪廓儀都需要進(jìn)行仔細(xì)的標(biāo)校，尤其是在測(cè)量諸如MEMS
系統(tǒng)這樣的微小對(duì)象時(shí)。不同外形的系統(tǒng)，其性能都是利用一些典
型對(duì)象來(lái)進(jìn)行標(biāo)定，這些典型對(duì)象都可以在一些最基本的標(biāo)準(zhǔn)下給
出了確切的測(cè)量值。
最為常用的一個(gè)典型對(duì)象是臺(tái)階，例如一個(gè)臺(tái)階對(duì)象用來(lái)進(jìn)
行垂直方向掃描的校準(zhǔn)，同時(shí)一個(gè)刻蝕的二元光柵元件常用于標(biāo)定
橫向放大率。其他的典型對(duì)象，如正弦型光柵或者不同粗糙度的表
面也用于系統(tǒng)性能的校驗(yàn)。統(tǒng)提供的參考值進(jìn)行比較是沒(méi)有意義的
。
在確定系統(tǒng)性能的同時(shí)，測(cè)量中還有兩個(gè)非常重要的問(wèn)題，分
別是重復(fù)性和再現(xiàn)性。一般而言，重復(fù)性定義為在不改變系統(tǒng)的前
提下，短時(shí)間內(nèi)對(duì)測(cè)量對(duì)象的一個(gè)參數(shù)進(jìn)行多次測(cè)量得到的1盯標(biāo)
準(zhǔn)偏差。再現(xiàn)性是指在不同的測(cè)量條件下在一段較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)多次測(cè)
量的結(jié)果分布。對(duì)一個(gè)系統(tǒng)的評(píng)價(jià)其實(shí)就是針對(duì)一個(gè)測(cè)量對(duì)象確定
參數(shù)的重復(fù)性和再現(xiàn)性。檢測(cè)的程序和給出的評(píng)價(jià)值應(yīng)該給出清楚
的說(shuō)明，并為使用者和廠商認(rèn)可，這也是很重要的。
在表面檢測(cè)中有兩個(gè)容易混淆的術(shù)語(yǔ)：準(zhǔn)確度和精度。準(zhǔn)確度
是指測(cè)量值與真值之間的接近程度(如一個(gè)典型對(duì)象的測(cè)量值)。精
度則指測(cè)量的分布狀態(tài)，也可以用重復(fù)性和再現(xiàn)性來(lái)表述。
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