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本文標題："物鏡和被測表面-顯微鏡物鏡有足夠長工作距離"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-7-3 21:18:05 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
物鏡和被測表面-顯微鏡物鏡有足夠長工作距離
由一個物鏡、一個分光鏡和一個獨立的參考平面組成。為了能
夠在物鏡和測試表面之間放入分束器，顯微鏡物鏡必須有一個足夠
長的工作距離。正因如此，邁克耳遜干涉儀只能與放大倍數(shù)低、數(shù)
值孔徑小且工作距離長的物鏡一起使用。
在物鏡和被測表面中間有兩個小玻璃板。一個板上有一個小的
反射點用作參考面，另一個在其一側鍍膜作為分束鏡。包含反射點
的小玻璃板還可以作為一個補償板。這種干涉儀結構是在物鏡的放
大率中等、沒有足夠的空間插入分束棱鏡來構成邁克耳遜干涉儀時
采用。米勞干涉儀對于放大倍數(shù)低于10倍的物鏡來說并不實用，因
為在低放大倍數(shù)時參考點過分遮擋了孔徑。參考點必須要大于物鏡
的視場，因為它是一個與被測對象最佳焦平面共軛的面。當放大倍
數(shù)在50倍左右時，物鏡的工作距離就會太短而不能在其下方放置分
束器或者平板。
通過兩個相同的明場物鏡，可以用任意放大倍率的物鏡來裝配
干涉儀。盡管如此，這類干涉儀調整起來也很困難，所以其商業(yè)用
途有限。林尼克干涉儀通常與一個具有高放大倍數(shù)、短工作距離的
物鏡一起配套使用。一個林尼克干涉儀由一個分束器、兩個相匹配
的顯微鏡物鏡和一個參考鏡組成。整個參考臂提供合適的路徑長度
以便獲得干涉條紋。為了獲得最大條紋對比度和最小波前畸變，兩
個物鏡必須與分束鏡相匹配。
以上討論的三種物鏡都是通過邁克耳遜干涉儀演變而來的，都
屬于等光程干涉儀。
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