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針對(duì)集成電路的材料多層金屬鍍層結(jié)構(gòu)
針對(duì)集成電路的材料科學(xué)研究,目的都是在努力避免微電路的災(zāi)難
性老化問題。因此在多層金屬鍍層結(jié)構(gòu)中,高分子膜特別是耐高溫
的聚酰亞胺正在逐漸替代陶瓷。這里的一個(gè)擔(dān)心是銅通過高分子膜
進(jìn)入硅中的擴(kuò)散問題。因此,金屬通過高分子的擴(kuò)散成為一個(gè)重要
的研究領(lǐng)域并且已經(jīng)表明貴金屬(包括銅)的擴(kuò)散非常慢,很顯然是
由于金屬原子誘發(fā)高分子鏈的交聯(lián)。截然不同的材料科學(xué)與工程領(lǐng)
域在微電路技術(shù)的推動(dòng)下正走向交叉聯(lián)合。
剛才粗略描述了基于由第Ⅲ主族氮化物型化合物(GaN、InN、A1N或
三元化合物)組成的異質(zhì)結(jié),能夠發(fā)出非常明亮的藍(lán)光或綠光的半
導(dǎo)體激光器的發(fā)展。這些激光器能夠產(chǎn)生以前采用其它半導(dǎo)體所不
能達(dá)到的波長,并且產(chǎn)生的激光亮度高、壽命長,以至于人們正在
考慮將它們用作交通信號(hào)燈。不只是因?yàn)樗鼈兒芰燎覊勖L,而且
每單位發(fā)射的光所需成本是白熾燈的十分之一,而且它們的壽命實(shí)
際上比普通光源高出100倍(典型的為100000h)。配合適當(dāng)?shù)臒晒鈩?/div>
,這些裝置還能夠產(chǎn)生明亮的白光,有望應(yīng)用到普通家庭作為照明
光源。這種想法現(xiàn)已被廣泛接受,氮化鎵及其“合金”是自硅以來
最重要的半導(dǎo)體,由其產(chǎn)生的光將產(chǎn)生一場(chǎng)深遠(yuǎn)的技術(shù)革命。
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