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本文標(biāo)題："精密機(jī)械全息光柵制造技術(shù)的應(yīng)用-分析儀器"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-7-7 17:23:34 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
精密機(jī)械全息光柵制造技術(shù)的應(yīng)用-分析儀器
全息光柵制造
全息法和刻劃法常瞻光柵是相互補(bǔ)充的兩種工藝。全息法制造光柵
的主要優(yōu)點(diǎn)是：擺脫了對精密機(jī)械的要求，不需要嚴(yán)格的恒溫環(huán)境，全
息光柵無鬼線，刻劃頻率可做得很高，能提供可見光到遠(yuǎn)紫外的光柵，
特別適用于凹面光柵的制造，但全息法制造衍射光柵時，由于其槽形不
易控制，因此控制閃耀的性能較差，效率也較低，因此全息法較適用于
高密度光柵(刻劃密度高困難較大)及凹面光柵的制造。
全息法制造光柵就是將雙光束干涉所形成的干涉條紋記錄在光敏層
上，經(jīng)過適當(dāng)?shù)幕瘜W(xué)處理，得到如經(jīng)典光柵相似的等間距的平行線條。
一全息光柵的質(zhì)量取決于這些線條的直線性，平行性及節(jié)距的準(zhǔn)確度，
而全息光柵的效率還取決于這些線條的槽形。 全息光柵雖然擺脫了刻
劃光柵的一些弱點(diǎn)，但在制造中也存在著不少困難，例如激光頻率如何
穩(wěn)定，激光管功率如何增大，還有光致抗蝕劑的頻譜響應(yīng)和涂布閥題等
。圖像數(shù)據(jù)處理的核心在于初始碼與變形碼的比較。我們假設(shè)，變形后
的碼絕大多數(shù)仍保持原值，僅極少數(shù)碼發(fā)生了差錯。只要簡單地剔除那
些發(fā)生差錯的碼，就能對物體表形狀有一個總體的了解。錯碼的剔除是
通過比較初始碼與變形碼而實(shí)現(xiàn)的，這一部分的流程如圖9—24所示。
編碼光柵調(diào)常l法因光柵自身攜帶了線紋序號信息，因而具有其他
方法所沒有的一些特點(diǎn)：一是確定柵序所需的測量程序和計算量都大為
簡化，從而大大提高了測量速度，二是可用于測量階躍表面的輪廓形狀
，因而更符合于工程應(yīng)用的實(shí)際情況。
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