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本文標(biāo)題："通過光學(xué)精密研磨來獲得較好的表面粗糙度"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-9-14 2:44:16 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
通過光學(xué)精密研磨來獲得較好的表面粗糙度
第一，高反射率光學(xué)材料。制造高反射率轉(zhuǎn)折鏡和反射鏡的材
料有銅、鉬、硅、鍺等。金、銀、銅等金屬對(duì)C02激光有較高的反
射率和熱導(dǎo)率，能滿足轉(zhuǎn)折鏡與反射鏡對(duì)反射紅外光的要求；導(dǎo)熱
好可將表面吸收激光所產(chǎn)生的熱量散出去，避免因光學(xué)元件過熱而
使其破壞閾值提高。
銅的硬度低，不易通過光學(xué)精密研磨來獲得較好的表面粗糙度
。一般將銅鏡粗磨并鍍鎳、鉻，再進(jìn)行精密拋光，經(jīng)鍍金或紅外介
質(zhì)膜制成反射鏡。鍍金是為了提高銅鏡的反射率和抗腐蝕與抗氧化
能力。紅外介質(zhì)膜既能增加反射率，又可保護(hù)鍍金表面，遇到鏡面
污染時(shí)，能進(jìn)行清潔處理，從而提高其使用壽命。
鉬的硬度較高，可經(jīng)光學(xué)精密研磨制成反射鏡。其熔點(diǎn)很高，
激光加工中的噴濺物不易粘附于表面，還可擦拭清洗表面污汛，在
那些溫度高、易污染的加工部位可以選用鉬反射鏡。
硅的熱膨脹系數(shù)小，硬度很高，熱導(dǎo)率較大。經(jīng)光學(xué)研磨鍍銀
或介質(zhì)保護(hù)膜，能提高其反射率，可用作反射鏡，但該材料的抗激
光破壞閾值低，使用功率會(huì)受到限制。
鍺對(duì)紅外光的反射率很低，全靠鍍膜來提高其反射率。通過鍍
膜后可以反射99％以上的紅外光，剩下約1％的激光則透過基體，
由光—電元件吸收后用于監(jiān)測(cè)或反饋控制激光器功率。
砷化鎵材料的吸收系數(shù)小，作為基底材料抗激光破壞閾值大于
150kW／cm2。對(duì)紅外光的反射率很低，通過鍍高反射率膜使其對(duì)激
光的反射率達(dá)99．5％以上�？捎米鞔蠊β始す馄鞯姆瓷溏R。
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