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本文標(biāo)題："電子束高斯平面像上形成最小彌散斑直徑會(huì)越大"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-10-27 0:32:19 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
電子束高斯平面像上形成最小彌散斑直徑會(huì)越大
透鏡孔徑半張角
掃描電鏡透鏡半張角是影響其電子束束斑直徑的關(guān)鍵因素之一
．其對(duì)色差、球差和衍射效應(yīng)形成的擴(kuò)散斑直徑都會(huì)有重要影響。
半張角越�。渖詈颓虿罹拖鄳�(yīng)越小；．在相同的束流大小和電
子槍亮度的情況下．半張角越�。娮邮诟咚蛊矫嫦裆闲纬傻淖�
小彌散斑直徑就會(huì)越大．從而顯著降低其最終分辨率。因此．要想
得到最小束斑直徑，必須平衡各種影響。選擇一個(gè)合適的半張角。
表1．1為不同球差系數(shù)和加速電壓下．理論計(jì)算的最佳半張角值
。 (1)單電子激發(fā)。入射電子和固體內(nèi)電子碰撞．使其發(fā)生電
離或激發(fā)到真空能級(jí)；即價(jià)電子激發(fā)和內(nèi)層電子激發(fā)。受激的價(jià)電
子可以成為游離態(tài)的自由電子．二次電子中的絕大部分是由它們組
成。金屬和半導(dǎo)體的價(jià)電子也可以從導(dǎo)帶中較低的能態(tài)躍遷到較高
的空態(tài)．稱作帶內(nèi)躍遷；或是從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶．稱為帶間躍遷，
產(chǎn)生電子一空穴對(duì)。內(nèi)層電子受激脫離束縛能，留下空穴．對(duì)具有
三能級(jí)以上原子，會(huì)或發(fā)生俄歇躍遷．發(fā)射俄歇電子；碰撞過(guò)程中
，產(chǎn)生價(jià)電子激發(fā)的概率遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于內(nèi)層電子激發(fā)的概率。一般來(lái)說(shuō)
，在價(jià)電子激發(fā)過(guò)程中，入射電子的能量損失相對(duì)于其能量來(lái)說(shuō)較
�。l(fā)生大角度散射的概率也很小，因此價(jià)電子激發(fā)不會(huì)使入射電
子的方向發(fā)生顯著變化。內(nèi)殼層電子激發(fā)中盡管可能有大的能量損
失，但其電離截面很�。蚨闺娮影l(fā)生大角度散射的概率也不大
。
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