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在晶體的入口端,入射電子束首先是用平面波表征的,而且用多層
片理論計(jì)算平面波通過晶體的傳播。隨著晶體薄片數(shù)量的變化,要控制
晶體的厚度與實(shí)驗(yàn)得到的圖像相匹配。事實(shí)上,一旦隧道效應(yīng)波沿原子
排列方向建立起來,則出口端波函數(shù)對晶體厚度的少許變化并不十分敏
感。電子與試樣的相互作用被認(rèn)為是一個(gè)依賴于TEM透鏡系統(tǒng)的過程。
假定晶體的出口端就是物鏡的焦乎面。
下一步是通過物鏡系統(tǒng)的信息傳播,將出口波函數(shù)進(jìn)行Fourier變
換,衍射振幅被透鏡傳遞函數(shù)exp(/Z)相乘,這里的欠焦是可變的。有
幾個(gè)實(shí)驗(yàn)因素會(huì)減小傳輸空間頻率的最大值,如試樣的偏移、電鏡的機(jī)
械振動(dòng)、光束的會(huì)聚和光束能量的分散等,在計(jì)算中所有這些因素都被
包括在有效包絡(luò)函數(shù)中,這是使計(jì)算襯度與實(shí)際觀察結(jié)果相一致的重要
方法,并且計(jì)算襯度可能比觀察的更好。在照相時(shí)使用能量過濾方法來
消除非彈性散射將使這種不一致減小。另一方面,顯微鏡偶然的機(jī)械振
動(dòng)嚴(yán)重地影響所觀察到的圖像襯度,但是在實(shí)驗(yàn)上測量約為0.005nm的
振動(dòng)是非常困難的。
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