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本文標題："電子顯微鏡技術電子束的等效波長及數(shù)值孔徑均較小"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-12-7 1:38:46 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
電子顯微鏡技術電子束的等效波長及數(shù)值孔徑均較小
掃描顯微鏡表面測量技術
與上述光學儀器不同，掃描顯微鏡沒有光學物鏡，圖像的觀察不
是通過光學鏡面，而是通過計算機圖像監(jiān)視器。有兩種類型的掃描
顯微鏡，電子顯微鏡(Electron Microscope，EM)和掃描探針顯微
鏡(Scanning Probe Microscope，SPM)。
電子顯微鏡的基本原理較為簡單：從電子射源發(fā)出的電子經多
級電磁透鏡匯聚成極細小的電子束探針，之后將電子束探針入射至
樣品表面從而激發(fā)出各種信號，通過對這些信號的檢測處理即可實
現(xiàn)對樣品表面的分析成像。．通常根據(jù)所檢測信號的
范圍，將電子顯微鏡細分為掃描電子顯微鏡(Scanning Electron M
icroscope，SEM)和透射電子顯微鏡(Tunneling Elec—tron Micro
scope，TEM)，機械加工樣品都是大塊基體，因此TEM并不適合于超
精密加工表面形貌的檢測。
SEM利用掃描線圈裝置使電子束探針在樣品表面進行柵格掃描
，掃描的同時檢測電子束所激發(fā)出的二次電子，通過二次電子的強
度與被測表面形貌的關系獲得表面的掃描電子圖像。由于電子束的
等效波長及數(shù)值孔徑均較小，因而SEM具有納米級甚至更高的空間
分辨率
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