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本文標(biāo)題："表面微觀形貌超精密制造技術(shù)的發(fā)展和制造"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-12-7 16:39:27 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
表面微觀形貌超精密制造技術(shù)的發(fā)展和制造
目前，納米機(jī)械加工的表面精度已經(jīng)達(dá)到納米量級(jí)，對(duì)零件表面質(zhì)
量的測(cè)量與評(píng)價(jià)顯得尤其重要。不同的超精密加工方法所獲得的表面幾
何質(zhì)量分布是不同的，同一光滑表面使用不同測(cè)量?jī)x器所得到的結(jié)果也
是不同的，零件的使用與其表面幾何質(zhì)量也同樣有極大的相干性，而不
同的評(píng)價(jià)方法和表征參數(shù)也對(duì)表面質(zhì)量的評(píng)定結(jié)果有一定的影響。
隨著超精密制造技術(shù)的發(fā)展和制造方法的多樣性，超精密納米機(jī)械
加工表面測(cè)量與評(píng)價(jià)技術(shù)將成為制造業(yè)的研究熱點(diǎn)，由于AFM儀器具有
的三維納米表面特征測(cè)量的優(yōu)異性能，是最適用于測(cè)量超光滑納米加工
表面微觀形貌的儀器，
對(duì)測(cè)量結(jié)果和對(duì)表面形貌的描述也最為精確。但是，目前尚沒(méi)有納
米級(jí)表面測(cè)量的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)及其相關(guān)的取樣長(zhǎng)度、評(píng)定長(zhǎng)度的定義，為此
，未來(lái)技術(shù)發(fā)展中必須建立納米機(jī)械加工的表面測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)，以便適應(yīng)納
米表面檢測(cè)的新需求，并在AFM測(cè)量軟件中進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)的更新和定義。
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