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本文標(biāo)題："光刻工藝制作電子材料焊點(diǎn)質(zhì)量檢測(cè)顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2017-5-16 1:06:56 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
光刻工藝制作電子材料焊點(diǎn)質(zhì)量檢測(cè)顯微鏡
傳統(tǒng)的電子系統(tǒng)一般是利片J刪減式光刻工藝制作。在任意電子材
料中(如導(dǎo)體、二極管或者半導(dǎo)體)構(gòu)建圖案的過程一般如下：(1)
在基質(zhì)層上沉積電子材料．沉積通常采用真空條件下的化學(xué)氣相沉
積或者物理氣相沉積；(2)隨后基底用光刻膠涂覆；(3)光刻膠通過
掩膜暴露于光刻系統(tǒng)中；(1)光刻膠在基底的掩模區(qū)域顯影用于移
除抗蝕劑；(5)利用濕化學(xué)法或干刻蝕法(如等離子)刻蝕去除沉積
的薄膜；沉積的薄膜只在先前光刻膠被顯影移除的區(qū)域被刻蝕；(6
)將剩余的光刻膠剝離使薄膜暴露；(7)最后。將基底清洗移除光刻
和刻蝕過程中的殘余雜質(zhì)。這七個(gè)步驟的掩膜和刻蝕過程重復(fù)多次
，最終得到復(fù)雜的沒備和電路。
上述技術(shù)稱為刪減式方法，因?yàn)閳D案是通過“移除”材料而獲
得的。這種刪減式過程需要多個(gè)步驟才能制作出一個(gè)單一的圖層。
由于完成這一復(fù)雜t藝需要合適的儀器，增加了整個(gè)過程的復(fù)雜性
．同樣也增加了成本支出。
一般而言，印刷技術(shù)，特別是噴墨打印技術(shù)，是一種潛在的替
代性生產(chǎn)技術(shù)．它是一種增材制造技術(shù)。在增材制造過程中。沉積
技術(shù)用于直接沉積薄膜。從概念上來(lái)說，印刷工藝將上述七個(gè)步驟
減少到單獨(dú)一個(gè)步驟。噴墨打印是增材印刷技術(shù)的一個(gè)典型的例子
，油墨可以印在所要求的地方。
基于上述各步工藝的分析，能比較出印刷電子品相對(duì)于傳統(tǒng)的
微電子制造過程的優(yōu)缺點(diǎn)。由于印刷電子產(chǎn)品能降低整個(gè)工藝過程
的復(fù)雜性，有望減少生產(chǎn)過程的成本支出，并且與塑料或箔片等低
成本，大面積基質(zhì)的兼容性也較為出色。因此，印刷電子單位面積
相比于刪減式的光刻技術(shù)，成本可能要低一至三個(gè)數(shù)量級(jí)。但另一
方面，在傳統(tǒng)微電子應(yīng)用中，光刻技術(shù)的線條寬度能夠達(dá)到約50 n
m，而在大面積顯示應(yīng)用中能達(dá)到1～3μm。而最先進(jìn)的工業(yè)化噴墨
打印機(jī)只能達(dá)到20μm，甚至在研究中，將噴墨打印的線條縮窄至1
μm以下也極具挑戰(zhàn)性。因此，盡管印刷電子的單位面積成本有望
比刪減式硅處理的方法低很多，但是相比于傳統(tǒng)微電子中每個(gè)晶體
管的成本則要高很多．這是因?yàn)閭鹘y(tǒng)微電子中每個(gè)晶體管非常小。
所以．很容易總結(jié)了印刷電子發(fā)展的可能的推動(dòng)力。印刷電子
作為一種生產(chǎn)電子系統(tǒng)的方式具有很大的吸引力，因?yàn)樗趩挝幻?/div>
積上的成本具有較大的優(yōu)勢(shì)。但是因?yàn)橛∷㈦娮拥木�條寬度無(wú)法令
人滿意，上述的優(yōu)勢(shì)只在那些集成度較低的系統(tǒng)中存在，例如在那
些不需要密集的晶體管陣列的系統(tǒng)中。印刷電子也有望使用低成本
，可彎折的基底，例如塑料以及金屬箔片。此外，通過在同一臺(tái)打
印機(jī)上使用不同的油墨，也將一系列材料較為容易地在特定空間中
沉積在基質(zhì)。
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