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本文標題："光學零部件成像透鏡樣品分析圖像顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2017-9-18 21:28:33 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
光學零部件成像透鏡樣品分析圖像顯微鏡
除了能夠反映表面或零件的局部缺陷之外，干涉圖像還反映了被測
波前的像差值信息。這與測試系統(tǒng)的相差直接相關。這就需要根據
干涉儀的配置類型來確定所有相差的來源。需要謹記．干涉圖表示
的是兩束干涉光之間的差異。因此，兩束光都經過光學零部件如成
像透鏡或擴束鏡時．其像差不會引起干涉圖變化。
這里．像差是指波面誤差．是旋轉對稱的光學系統(tǒng)的本質屬性
。這些像差是理想球面波經各種各樣變化后的實際波前。在干涉儀
中．理想的球面波常常是一個平面波；它可以看作是一個有無限曲
率半徑的球面波。從干涉圖得到的波面誤差是測量平面的誤差．測
量平面與探測平面相對于成像透鏡是共軛的。
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