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本文標題："多種不同微電子工藝可用來制造常見的微電子器"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2017-10-31 22:11:31 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
多種不同的微電子工藝可用來制造常見的微電子器
微細加工技術(shù)
現(xiàn)在，已有多種不同的微電子工藝可用來制造常見的微電子器
件，如運算放大器、邏輯門電路、微處理器等。其中許多工藝技術(shù)
，有時甚至是全部標準工藝，對開發(fā)、生產(chǎn)微傳感器都是很有價值
的。例如，可以用標準雙極工藝制造熱微傳感器，因為雙極工藝制
備的p-n結(jié)二極管，其在電流不變時的正向電壓，或n—P-n型晶體
管的基極一發(fā)射極間電壓與溫度有一定的比例關(guān)系。制造常用二極
管和熱敏二極管的工藝幾乎沒有什么不同，主要差別是器件的設(shè)計
，或許最后的封裝也有些差別。在大多數(shù)實際情況中，最理想的是
，只要可能就盡量利用標準工藝流程，或者在標準工藝流程之外，
或在線工藝中插入一到幾個非標準工序。集成到什么程度，這是一
個苛刻的設(shè)計問題，所以設(shè)計者往往首先考慮混合電路的解決方案
，但其中也將借用標準微電子工藝及其封裝技術(shù)。將微電子電路集
成到MEMS中去也是一個難以決斷的問題，因為其最終產(chǎn)品很復(fù)雜。
所以本書將論述各種可能的技術(shù)途徑，甚至包括首先從微電子學(xué)著
手，還是首先從MEMS著手等問題。為此在本章及以后幾章中先扼要
地介紹標準微電子工藝，以及需要增加的其他非標準材料和工藝技
術(shù)。
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