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本文標(biāo)題："采用計(jì)算機(jī)元件金屬截面分析顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2018-5-21 22:01:41 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
采用計(jì)算機(jī)元件金屬截面分析顯微鏡
PVr是采用計(jì)算機(jī)對36項(xiàng)澤克多項(xiàng)式進(jìn)行最小二乘法擬合得到的，
并且考慮了擬合球面與實(shí)際球面的殘余誤差的均方根值。這個(gè)過程
給出了一個(gè)看似正確的PV值。沒有假像素帶來的不良結(jié)果。
干涉條紋圖
干涉條紋看起來就像一組彎曲的地形圖。中心有著相同方向的
一組弧形干涉條紋，表示干涉波前的相關(guān)半徑或離焦的差異，可以
通過輕輕按壓元件來辨別這個(gè)差異(凸或凹)。如果縮短干涉光程使
得干涉條紋向共有中心靠攏，說明被測波前是凹的；反之亦然。千
涉條紋的共有巾心當(dāng)使用測試樣板時(shí)．這個(gè)時(shí)候彎曲方向的判斷是
由按壓垂直干涉條紋系統(tǒng)斜傾面的點(diǎn)來確定的。如果系統(tǒng)中心向按
壓方向移動，面形是凸的；如果遠(yuǎn)離則為凹的。兩個(gè)條紋半個(gè)條紋
宦
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